铬薄膜的热氧化:初始金属结构的作用
对比 DCMS、HiPIMS 与双极 HiPIMS 三种磁控溅射沉积铬薄膜在 400–800℃ 空气中的热氧化行为。初始金属结构影响氧传输与氧化铬层发育:开放柱状膜氧化更早、生成更厚但有序度低的氧化铬;致密膜氧化延迟、生成更薄更均匀有序的 Cr₂O₃ 层。氧化伴随弹性硬化,调控初始结构可控制保护性氧化铬层的质量。
展开摘要溅射Cr膜初始结构决定氧化铬质量,PVD非热喷涂
对比 DCMS、HiPIMS 与双极 HiPIMS 三种磁控溅射沉积铬薄膜在 400–800℃ 空气中的热氧化行为。初始金属结构影响氧传输与氧化铬层发育:开放柱状膜氧化更早、生成更厚但有序度低的氧化铬;致密膜氧化延迟、生成更薄更均匀有序的 Cr₂O₃ 层。氧化伴随弹性硬化,调控初始结构可控制保护性氧化铬层的质量。
展开摘要该研究用磁控溅射与电弧离子镀在SLM成形的Ti-6Al-4V上依次沉积Cr2AlC扩散阻挡层和NiCrAlY涂层,以抑制界面元素互扩散。4 μm厚Cr2AlC层在750-800 °C氧化50 h显著抑制Ti、V外扩散,保持涂层成分与相稳定;但在900 °C氧化50 h后发生内氧化、结构退化并产生Kirkendall空洞,Ti穿透阻挡层形成TiO2。
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