一种用于生产高熵合金 TiZrAlVCr 无缺陷铸锭的组合方法及其作为涂层沉积阴极靶材的用途
采用真空电弧熔炼（VAM）预熔加真空感应重熔（VIM）铸造成型的复合方法，制备Ti-Zr-Al-V-Cr高熵合金铸锭，用作NNV-6.6真空电弧沉积系统的阴极靶。通过氧化物陶瓷衬里、将冷却速率降至5–10 °C/s并采用铜底板定向散热与冒口，获得无缺陷、成分均匀（各元素16–27 at.%，显微硬度768–789 HV）的∅80–85 mm铸锭，并在Ti-6Al-4V基体上沉积单层与多层涂层。
展开摘要靶材冶金可参考，镀膜参数缺失